第97章 这么快就回来了（1/5）

正所谓柿子要先挑软的捏，在一番讨论后，由于温度气压补偿法还需要来自材料工程学专业的同志们辛苦一段时间，小组首要解决的议题便放在了二元光栅照明之上，毕竟现在已经有现成的元件了，直接拿过来试试就行。

传统的光学一般都是基于光波的折射和反射原理，利用透镜、反射镜和棱镜等元件进行设计和实现各种光学功能，就比如说光刻机的透镜组，它利用的正是这一原理。然而在传统光学下，衍射效应总是导致光学系统的分辨率受到限制，除了光波的色散性质可以用于光谱学之外，传统光学的总是要尽量避免衍射效应造成的不利影响。

而二元光学，也就是二元光栅照明所利用的原理，则是基于光的衍射特性，从而在理论上设定的一种同轴、相位型衍射光学元件，它具有极高的衍射效率，理论上可以达到100，将光能利用到极致。

大约是从八十年代开始，通过研究和工艺提升，人类已经可以制造更多小尺寸、高质量和多更能的衍射光学元件，它们的精细结构周期可以与波长相比较，可谓是光刻机中除了镜片以外第二精细的工艺产品。

华夏在这方面的理论研究倒是一点都没落下，谭珊珊的理论知识就是如此，只是受制于工艺和设备限制，才使得实际应用比较艰难罢了。

“有一个不好的消息。”

办公室里，谭珊珊抱着一堆资料文件，朝着王向中走来，“不知道王师弟有没有空？”

王向中听到这话，也是一股不好的预感涌上心头，但他仍然也是满脸堆笑道：“谭师姐有什么话直说就行。”

“昨天我已经通过电话和萧炎教授沟通过了，他得到这个消息之后当然是欣喜若狂，不过——”