第一六四章 KrF 248nm紫外光刻机（1/5）

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“岸然，这事我必须当面和你说清楚，这七套设备虽然都是15微米制造工艺，不过其中有四台，和其他的有些区别。”

王岸然一下来了兴致。

“有什么不一样？”

“有三台使用的是高压汞灯i线365纳米光源，而另外四台……”

“张教授，你倒是说啊！”

张大京嘴角带着笑，指着王岸然说道“岸然，我一直以为你比别的年轻人沉得住气，现在看来，只是没找到你感兴趣的东西啊！”

王岸然白了张大京一眼，说道“张教授，你再不说，我可要翻脸了啊！”

“好！好！”张大京摇摇头，说道“岸然，有四台使用的是krf248纳米准分子激光光源。”

额，王岸然感觉呼吸都有些急促，krf准分子激光光源有两种波长，一种是248纳米，另外一种就是193纳米。

这跟高压汞灯光源不一样的是，高压汞灯光源还属于可见光，而krf准分子激光已经迈入紫外线的范畴。

虽然国内早已经开始了krf准分子激光的研究，而且取得了相应的成果，不过适用于光刻的248纳米光源，要求的是百焦级别的高功率，以及粒子均匀性要在千分之零点三的范围内。

门槛就在这里。

事实上，ib早在1980年就将krf准分子激光光源用于半导体光刻，而十五年过后，对国内来说，还是一道深不可测的技术门槛。

没想到，这玩意竟然被张大京搞来了……

王黯然忙问道“张教授，我记得激光光源是瓦森纳协议中禁止贸易的，你怎么……？”

“岸然，你错了，瓦森纳协议中限制出口的列表，今年没有把248纳米krf列入其中。

不过需要说明的是，这款激光器是不可以用作军事用途的，所以，他们会派人监管，并定期检查的。”